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常用的臭氧尾气处理方法有化学法和电加热分解法。
化学法通常为催化剂法和活性炭吸收法。
催外剂法是以二氧化锰为基质和填料作为催化剂，它能对臭氧起到催化分解作用。
该方法设备投资少，运行能耗低，其不足之处是属气进入处理器前必须先除湿；安全稳定性差；催化剂要定期更换等。活性炭吸附法是利用可烯性载体炭表面对臭氧吸收分解，以及一部分臭氧与活性炭直接反应生成CO2和CO。
该方法的缺点是臭氧在活性炭吸附氧化过程中，产生热量，并开成不稳定的臭氧化产物，吸收装置容易发生燃烧和爆炸，当存在氮的氧化物时发生爆炸的危险性更大。
在实际生产中，这种方法应慎重选用。该方法反应速度快，效果好，便于自动运行，安全可靠。缺点是增加了部分设备投资和运行能耗。电加热分解法是今后水厂应用的重点。
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