硅的气态氢化物

原创 2022-03-04 16:55:13

硅的气态氢化物是甲硅烷。甲硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅.. 精选答案

硅的气态氢化物是甲硅烷。

甲硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。

甲硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。

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来自百学网

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