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光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的.核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
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刘博士
中国人民大学博士
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