一般的位移检测元件有:电感传感器、电容传感器、感应同步器、光栅传感器、磁栅传感器、旋转变压器和光电编码器等。
1、电感传感器
电感传感器是将被测量转换为线圈的自感或互感的变化来测量的装置。电感传感器还可用作磁敏速度开关、齿轮龄条测速等。
2、电容传感器
电容传感器是指将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容量变化的一种传感器。实际上,它本身(或和被测物体)就是一个可变电容器。
电容传感器可以直接测量的非电量为:直线位移、角位移及介质的几何尺寸(或称物位),直线位移及角位移可以是静态的,也可以是动态的,例如是直线振动及角振动。
3、感应同步器
感应同步器是一种电磁式位置检测元件,按其结构特点分为直线式和旋转式(圆盘式)两种。直线式感应同步器由定尺和滑尺组成;旋转式感应同步器由定子和转子组成。
前者用于测量直线位移,用于全闭环伺服系统,后者用于测量角位移,用于半闭环伺服系统。它们的工作原理都与旋转变压器相似。
4、光栅传感器
光栅传感器实际上是光电传感器的一个特殊应用。由于光栅测量具有结构简单、测量精度高、易于实现自动化和数字化等优点,因而得到了广泛的应用。xa0
光栅主要由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。通常,标尺光栅固定在活动部件上, 如机床的工作台或丝杆上。光栅读数头则安装在固定部件上,如机床的底座上。当活动部件移动时,读数头和标尺光栅也就随之做相对的移动。
5、磁栅传感器
磁栅式传感器( magnetic grating transducer )利用磁栅与磁头的磁作用进行测量的位移传感器。它是一种新型的数字式传感器,成本较低且便于安装和使用。当需要时,可将原来的磁信号(磁栅)抹去,重新录制。
还可以安装在机床上后再录制磁信号,这对于消除安装误差和机床本身的几何误差,以及提高测量精度都是十分有利的。并且可以采用激光定位录磁,而不需要采用感光、腐蚀等工艺,因而精度较高,可达±0.01毫米/米,分辨率为1~5微米。
参考资料:百度百科——磁栅传感器
xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0xa0百度百科——感应同步器
xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0百度百科——电容传感器
xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0 xa0百度百科——电感传感器
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