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镀膜机的不同也造成了配备制冷机的不同，镀膜机内部是由于靶材蒸发或者被靶原子被撞击造成粒子动能，转化成热能，就会造成工作区域发热，故需冷却水循环带走工作热量。选型制冷机方法，要从设备压力、流量、工艺温度，水泵的扬程方面来考虑冷机选型。
对于网上说的高档的镀膜用制冷机制冷，低档的用常温的区分说法不太赞同，因为近些年，环境温度变化较大，用冷塔冷却，有很多不稳定因素，所以镀膜企业要有专门制冷机和冷水塔进行共同制冷，才能有好的效果，凯德利制冷机就比较稳档，用
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